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41.
In this paper, we investigated the dose window of forming a continuous buried oxide (BOX) layer by single implantation at the implantation energy of 200 keV. Then, an improved two-step implantation process with second implantation dose of 3×1015 cm?2 was developed to fabricate high quality separation by implanted oxygen (SIMOX) silicon on insulator (SOI) wafers. Compared with traditional single implantation, the implantation dose is reduced by 18.2%. In addition, the thickness and uniformity of the BOX layers were evaluated by spectroscopic ellipsometry. Defect-free top Si as well as atomic-scale sharp top Si/buried oxide interfaces were observed by transmission electron microscopy, indicating a high crystal quality and a perfect structure of the SOI fabricated by two step implantation. The top Si/BOX interface morphology of the SOI wafers fabricated by single or two-step implantation was also investigated by atomic force microscopy.  相似文献   
42.
从水质安全的角度出发,论述了供水系统中出现红虫、管道腐蚀、生物不稳定问题的原因,提出了防治措施以改善城市供水质量。  相似文献   
43.
当前基于电容耦合的传感器尚无有效、便捷的耦合电容动态校准方法,影响测量精度。因此,本文提出了基于谐波注入的差分式非接触电压测量方法,首先利用感应探头与跨阻运算放大器将基频信号引入测量系统;其次通过屏蔽罩,减小外界杂散电容变化带来的干扰,改进探头并引入差分式电路结构,消除运放输入电容的影响;接着对测量电路注入谐波,并利用DFT实现对响应信号中基波信号与谐波信号的提取,通过谐波源与谐波响应信号的比值,求解出耦合电容参数,实现其动态校准;然后将校准的电容参数代入基波方程,实现基波电压信号的测量;最后,通过仿真结果表明,文章所提的测量方法可在10kV的应用场景中满足对变化的耦合电容校正要求,且最大的电压测量误差小于0.4%  相似文献   
44.
基础环式风机基础的损伤累积破坏影响风力机系统的安全运行。针对基础环式风机运行过程中基础混凝土损伤问题,以内蒙古某49.5MW风电场为例,利用ABAQUS有限元软件建立风机基础混凝土损伤模型,对比分析了静力荷载工况与周期性荷载工况下基础混凝土损伤变化规律。结果表明:静力荷载工况下,基础主要产生拉伸损伤,受压性能稳定,钢筋骨架未达到极限状态;相较于静力荷载,在周期性荷载作用下,拉伸损伤区域增大3倍,竖向扩展增加3倍,压缩损伤面积扩展2倍,位移量增加1.6倍,钢筋应力增大0.5倍,有助于解释周期性荷载作用下基础的损伤行为。  相似文献   
45.
为了研究强流脉冲离子束(HIPIB)辐照靶材产生烧蚀等离子体向真空中喷发的机制,建立了与HIPIB烧蚀靶材形状相关的沿变截面管道流动的等离子体喷发动力学模型,并以烧蚀结果为初始条件采用数值方法计算了喷发等离子体压力、密度及速度的时空演化规律。结果表明:密度演化结果与一维明显不同,随时间增加峰值先增加而后再减小,且逐渐趋于平缓,存在峰值位置,说明薄膜的形成与基片相对靶材位置是相关的。该结果对HIPIB辐照进行薄膜生长具有一定的参考价值和指导意义。  相似文献   
46.
针对镍氢电池温度变化直接影响电池组的性能和寿命等问题,研究了镍氢蓄电池组充放电产生的温升和温度分布.分析了电池产热机理,以降低电池组的最高温升为目标,综合考虑了电池温升和充电电流等因素的较大初始充电电流,提出了分阶段恒流充电控制策略,并进行了数值仿真分析.通过电池组温度场模型理论分析,对现有电池组散热结构进行了优化,通...  相似文献   
47.
提出了相对参考机的单机稳定裕度评估方法.研究了单一机组功角曲线的表达方式,将多机系统中单机功角曲线表达为本机相对参考机转子角度的函数,提出了基于泰勒级数的功角曲线预测拟合方法.提出了稳定裕度的预测评估方法与事后评估方法,比较了事后评估与预测评估所得稳定裕度的差异.SGEAC方法在判别系统是否稳定时没有任何假设,不需要进...  相似文献   
48.
文章介绍了M-Bus传输协议的便携式水表运行监测系统的开发背景,开发过程中采用的技术路线以及关键技术,该套系统是对全自动抄表系统的一种补充,给用户提供多一种抄表方案的选择.  相似文献   
49.
文章介绍了M-Bus传输协议的便携式水表运行监测系统的开发背景,开发过程中采用的技术路线以及关键技术,该套系统是对全自动抄表系统的一种补充,给用户提供多一种抄表方案的选择。  相似文献   
50.
文章首先介绍了天线板滑倒过程的有限元动力学仿真;然后对仿真结果进行了分析,并初步得出了天线板的刚度和强度是符合要求的结论;最后,提出了如何提高天线板刚度和强度的措施,如合理设计框架的梁、应用新材料等措施。  相似文献   
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